| 发明名称 | 双光学头激光并行加工的光刻系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种双光学头激光并行加工的光刻系统，包括工作平台、光学平台和光学平台驱动装置，其特征在于：所述光学平台驱动装置主要由平行设置于工作平台上方的横梁，位于横梁两端的一对Y方向直线导轨、驱动横梁沿Y方向直线导轨运动的直线电机，位于横梁上的X方向直线导轨、驱动光学平台沿X方向直线导轨运动的直线电机构成；设有两个独立的光学平台，每一光学平台上固定有一组激光光源和光学头。本实用新型能够快速、有效地实现大幅面的激光光刻。 | ||
| 申请公布号 | CN201516538U | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
| 申请号 | CN200920235369.5 | 申请日期 | 2009.09.24 |
| 申请人 | 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 | 发明人 | 邵其文;陈林森;许家明 |
| 分类号 | B23K26/00(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 陶海锋 |
| 主权项 | 一种双光学头激光并行加工的光刻系统，包括工作平台、光学平台和光学平台驱动装置，其特征在于：所述光学平台驱动装置主要由平行设置于工作平台上方的横梁，位于横梁两端的一对Y方向直线导轨、驱动横梁沿Y方向直线导轨运动的直线电机，位于横梁上的X方向直线导轨、驱动光学平台沿X方向直线导轨运动的直线电机构成；设有两个独立的光学平台，每一光学平台上固定有一组激光光源和光学头。 | ||
| 地址 | 215026 江苏省苏州市苏州工业园区钟南街478号 | ||