蚀刻工具装置

摘要

一种蚀刻工具装置，包括一内壳体及一外壳体，该内壳体为中空柱筒状，该内壳体内的中空空间形成一排液孔，该内壳体的底面为一内底面；该外壳体为中空柱筒状，该外壳体套设于该内壳体之外，该外壳体的内径大于该内壳体的外径，该外壳体与该内壳体之间的间隙形成一供液孔，该供液孔底部向下并向外延伸形成一喷射口，该外壳体的底面为一外底面，该内底面的水平位置高于该外底面。本实用新型可以利用蚀刻液轻易地对基板进行斜向蚀刻，形成与基板表面呈斜角的沟槽，可缩短蚀刻液在该基板表面的停留时间，提高蚀刻方向的对比性。

主权项

一种蚀刻工具装置，其特征在于包括：一内壳体，该内壳体为中空柱筒状，该内壳体内的中空空间形成一排液孔，该内壳体的底面为一内底面；以及一外壳体，该外壳体为中空柱筒状，该外壳体套设于该内壳体之外，该外壳体的内径大于该内壳体的外径，该外壳体与该内壳体之间的间隙形成一供液孔，该供液孔底部向下并向外延伸形成一喷射口，该外壳体的底面为一外底面，该内底面的水平位置高于该外底面。