化合物及含有该化合物的化学增幅光刻胶组合物

摘要

本发明提供了由式(I)表示的化合物以及含有该化合物的化学增幅光刻胶组合物：其中P1、P2、P3、P4和P5各自独立地表示氢原子等，而选自由R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8和R9组成的组中的至少一个是由式(II)表示的基团：其中X1和X2各自独立地表示氢原子等，n表示1～4的整数，Z1表示C1-C6烷基等，并且环Y表示脂环烃基，而其余的各自独立地表示氢原子、C1-C6烷基或羟基。

主权项

1.一种由式(I)表示的化合物：其中P¹、P²、P³、P⁴和P⁵各自独立地表示氢原子、C1-C4烷基、C2-C4烯基、C2-C4炔基、C3-C8环烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，P¹和P²可以相互键接形成C3-C12二价无环烃基，该二价无环烃基与P¹和P²所键接的碳原子一起形成环，P⁴和P⁵可以相互键接形成C3-C12二价无环烃基，该二价无环烃基与P⁴和P⁵所键接的碳原子一起形成环，而选自由R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸和R⁹组成的组中的至少一个是由式(II)表示的基团：其中X¹和X²各自独立地表示氢原子或C 1-C4烷基，n表示1～4的整数，Z¹表示C1-C6烷基或C3-C 12环烷基，并且环Y表示脂环烃基，其余的各自独立地表示氢原子、C1-C6烷基或羟基。