| 发明名称 | 氮化铝基复合材料、其制造方法及半导体制造装置用部件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具有与氧化铝同等或其以上耐蚀性和体积电阻率且具有比氧化铝更高的热传导率的新型材料。本发明的氮化铝基复合材料为过渡金属、碱金属、硼的各元素分别为1000ppm以下的高纯度的氮化铝基复合材料，其热传导率为40～150W/mK，热膨胀系数为7.3～8.4ppm/℃，体积电阻率为1×1014Ωcm以上，作为构成相含有AlN和MgO，进而含有从由稀土金属氧化物、稀土金属-铝复合氧化物、碱土金属-铝复合氧化物、稀土金属氧氟化物、氧化钙和氟化钙构成的组中选择的至少一种。 | ||
| 申请公布号 | CN101723674A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200910205237.2 | 申请日期 | 2009.10.21 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 小林义政;后藤明;胜田佑司;山田直仁 |
| 分类号 | C04B35/582(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/582(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 一种氮化铝基复合材料，其为过渡金属、碱金属、硼的各元素分别为1000ppm以下的高纯度的氮化铝基复合材料，其热传导率为40～150W/mK，热膨胀系数为7.3～8.4ppm/℃，体积电阻率为1×1014Ωcm以上，作为构成相含有AlN和MgO，进而含有从由稀土金属氧化物、稀土金属-铝复合氧化物、碱土金属-铝复合氧化物、稀土金属氧氟化物、氧化钙和氟化钙构成的组中选择的至少一种。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||