| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1936671(A4) |
申请公布日期 |
2010.06.09 |
| 申请号 |
EP20060811445 |
申请日期 |
2006.10.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
MATSUURA, HIROYUKI;NAKAO, KEN |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/455;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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