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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit zwei Gräben
摘要
申请公布号
DE112007002739(A5)
申请公布日期
2010.06.02
申请号
DE200711002739T
申请日期
2007.10.22
申请人
AUSTRIAMICROSYSTEMS AG
发明人
ENICHLMAIR, HUBERT;SCHRANK, FRANZ;SCHREMS, MARTIN
分类号
H01L21/74;H01L21/762
主分类号
H01L21/74
代理机构
代理人
主权项
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