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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines MOSFET mit selbstjustiertem Damaszener-Gate
摘要
申请公布号
DE112004002107(B4)
申请公布日期
2010.05.06
申请号
DE200411002107T
申请日期
2004.10.08
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
发明人
TABERY, CYRUS E.;AHMED, SHIBLY S.;BUYNOSKI, MATTHEW;DAKSHINA-MURPHY, SRIKANTESWARA;KRIVOKAPIC, ZORAN;WANG, HAIHONG;YANG, CHIH-YUH;YU, BIN
分类号
H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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