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发明名称 Multi-axis compound lens, beam system making use of the compound lens, and method using the compound lens
摘要
申请公布号 EP1432008(B1) 申请公布日期 2010.05.05
申请号 EP20020028345 申请日期 2002.12.17
申请人 ICT, INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUERHALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN, JUERGEN;ADAMEC, PAVEL
分类号 H01J37/145;H01J37/317 主分类号 H01J37/145
代理机构 代理人
主权项
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