蒸发源组件及使用该组件的蒸镀装置

摘要

一种蒸发源组件及使用该蒸发源组件的蒸镀装置。构成蒸发源组件的外部壳体具有设有导引部且所述导引部的延长线朝向相同位置的遮蔽件(shield)，以规定的角度使构成所述蒸发源组件的蒸发源所具有的喷咀部的通孔倾斜，由此，通过导引从所述各个蒸发源排出的蒸镀物质，使其蒸镀在被蒸镀基板的同一区域，从而形成具有均匀粗糙度且具有均匀厚度的薄膜。

主权项

一种蒸发源组件，该组件包括：外部壳体，其划分为至少两个单元，该至少两个单元分别具有开口部；位于上述至少两个单元内的各个蒸发源，该组件特征在于，还包括位于上述至少两个单元的各个开口部的两侧的、与上述外部壳体相连并具有导引部的遮蔽件，上述导引部的延长线朝向同一地方，从而各个蒸发源放出的蒸镀物质蒸镀到上述被蒸镀基板的同一区域。