发明名称
摘要
申请公布号 JP4454944(B2) 申请公布日期 2010.04.21
申请号 JP20030057030 申请日期 2003.03.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L43/08 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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