发明名称 Abbildende Optik
摘要 Eine abbildende Optik (7) hat eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M6). Diese bilden ein Objektfeld in einer Objektebene (5) in ein Bildfeld in einer Bildebene (9) ab. Mindestens einer der Spiegel (M5, M6) hat eine Durchgangsöffnung (18, 19) zum Durchtritt von Abbildungslicht (3). Eine Anordnung der Spiegel (M1 bis M6) ist derart, dass Hauptstrahlen im Strahlengang des Abbildungslichts (3) zwischen der Objektebene (5) und dem ersten nachfolgenden Spiegel (M1) parallel oder divergent verlaufen. Bei einem ersten Aspekt der Erfindung hat die abbildende Optik (7) eine Eintritts-Pupillenebene, die im Strahlengang des Abbildungslichts (3) im Bereich zwischen 5 m und 2.000 m vor der Objektebene (5) liegt. Bei einem zweiten Aspekt der Erfindung hat die abbildende Optik eine Eintritts-Pupillenebene, die im Strahlengang des Abbildungslichts im Bereich zwischen 100 mm und 5.000 mm vor der Objektebene (5) liegt. Es resultieren abbildende Optiken mit verbesserter Abbildungsqualität.
申请公布号 DE102008033340(B3) 申请公布日期 2010.04.08
申请号 DE20081033340 申请日期 2008.07.16
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 MANN, HANS-JUERGEN
分类号 G03F7/20;G02B17/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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