| 发明名称 | 镜头校验方法及系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供镜头校验方法及系统，以提高校验效率及节约人力资源。该方法包括：获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息，采用待校验Canera检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息，获得调整参数信息，以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。 | ||
| 申请公布号 | CN101685251A | 申请公布日期 | 2010.03.31 |
| 申请号 | CN200810200271.6 | 申请日期 | 2008.09.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 吕秋玲;赵庆国;黄臣;高燕 |
| 分类号 | G03B43/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G03B43/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1、一种镜头校验方法，其特征在于，包括：获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息；采用待校验镜头检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息；获得调整参数信息；根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||