发明名称 Piezoelektrischer Vibrator, Oszillator und Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Vibrators.
摘要 Es werden ein piezoelektrischer Vibrator (1), ein Oszillator (38) und ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vibrators (1) zur Verfügung gestellt, welche fähig sind, eine Mehrzahl von Elektroden (16, 27) zur Anlegung einer Spannung an einen piezoelektrischen Vibrationsteil (3) bereitzustellen, während die Luftdichtheit im Inneren eines hermetisch abgeriegelten Gefässes (2) behalten wird. Zu diesem Zwecke wird ein piezoelektrischer Vibrator (1) zur Verfügung gestellt, umfassend ein hermetisch versiegeltes Gefäss (2), gebildet durch die Überlagerung in der Dickenrichtung eines Deckelteils (6) und eines Bodenteils (7), welche eine plattenähnliche Form aufweisen, ein piezoelektrisches Vibrationsteil (3) im Innern des hermetisch versiegelten Gefässes (2), eine Anschlusselektrode (16) auf einer Überlagerungsfläche (6a) des Deckelteils (6), welche mit dem piezoelektrischen Vibrationsteil (3) über einen Verbindungsabschnitt(15) elektrisch verbunden ist, und welche den Verbindungsabschnitt (15) bis zum Grenzabschnitt der Überlagerungsfläche (6a) des Deckelteils (6) verlängert, eine Aussenelektrode (27), welche an einer Seitenfläche des hermetisch versiegelten Gefässes (2) mit der Anschlusselektrode (16) elektrisch verbunden ist, und eine Verbindungsschicht (20), bestehend aus einem Metall oder Silizium zwischen der Überlagerungsfläche (6a) des Deckelteils (6) und der Überlagerungsfläche (7a) des Bodenteils (7), in welchem eine Isolationsschicht (22) zwischen der Anschlusselektrode (16) und der Verbindungsschicht (20) vorgesehen ist.
申请公布号 CH699526(B1) 申请公布日期 2010.03.31
申请号 CH20060001357 申请日期 2006.08.24
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 KIYOSHI ARATAKE
分类号 H03H9/10;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/23;H01L41/29;H01L41/313;H03B5/32;H03H3/02;H03H9/02 主分类号 H03H9/10
代理机构 代理人
主权项
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