发明名称 一种半导体晶片减磨用重块
摘要 本实用新型提供了一种半导体晶片减磨用重块,该半导体晶片减磨用重块包括重块体,在重块体的上表面设有放置晶片的凹槽,凹槽的深度等于晶片所需的厚度与粘接层厚度之和。本实用新型在晶片减磨时,将晶片放置于重块体的凹槽内,当晶片减薄到所需厚度时,即使研磨机还没有到预定研磨时间,也不会继续减磨晶片,而是与重块上表面摩擦,停止晶片的研磨,阻止晶片继续变薄,直至研磨时间耗尽,保护了晶片,防止了晶片减薄速度过快时出现磨薄、磨废晶片情况的发生。
申请公布号 CN201427275Y 申请公布日期 2010.03.24
申请号 CN200920029732.8 申请日期 2009.07.15
申请人 山东华光光电子有限公司 发明人 满忠斌;娄娟
分类号 B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 B24B37/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种半导体晶片减磨用重块,包括重块体,其特征是:在重块体的上表面设有放置晶片的凹槽,凹槽的深度等于晶片所需的厚度与粘接层厚度之和。
地址 250101山东省济南市高新区天辰大街1835号