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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19651550(B8) 申请公布日期 2010.02.25
申请号 DE1996151550 申请日期 1996.12.11
申请人 DENSO CORPORATION 发明人 ICHIKAWA, YUJI;TANAKA, YASUSHI;SOUKI, YASUO;KUBOKOYA, RYOUICHI;KUROYANAGI, AKIRA;SHIOYA, HIROHITO
分类号 H01L21/336;H01L21/318;H01L27/02;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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