台架装置

摘要

本发明的台架装置能分割地进行陆路运输，同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置备有支承被处理基板(W)的基板支承面、夹着基板支承面相向配置的一对导架(13X)、在一对导架(13X)之间延伸并可移动地支承在一对导架(13X)上的门形架(13Y)、和设置在门形架(13Y)上的基板处理单元(14)；导架(13X)由主架部(15A)和副架部(15B)的结合体构成；主架部(15A)形成基板处理单元(14)进行基板处理所需的门形架(13Y)的移动路径(作业区域(R1))，副架部(15B)与主架部(15A)的长度方向一端部或两端部连接，形成门形架(13Y)的到达非作业位置(非作业区域(R2))的移动路径。

主权项

1.一种台架装置，其用于进行被处理基板的处理或检查；其特征在于，具备：基板支承面，该基板支承面对所述被处理基板进行支承；基板处理单元，该基板处理单元对支承在所述基板支承面上的被处理基板进行处理或检查；门形架，该门形架支承所述基板处理单元，并且可在支承于所述基板支承面的被处理基板之上自由移动；一对引导部，该一对引导部分别具有第1引导部和第2引导部，其中，所述第1引导部夹着所述基板支承面地相向配置，形成由所述基板处理单元进行基板处理时所需的所述门形架的作业区域的移动路径，而所述第2引导部可沿该第1引导部的延伸方向相对于所述第1引导部自由分离地连接，形成所述门形架的非作业区域的移动路径；主架，该主架支承所述第1引导部；以及副架，该副架支承所述第2引导部，并且可自如地与所述主架分离。