一种全氧化物异质结场效应管

摘要

本发明涉及全氧化物异质结场效应管，包括在n型或p型衬底上生长一p型或n型钙钛矿氧化物材料层，并在p型或n型钙钛矿氧化物材料层上刻蚀一槽，该槽作为场效应管的沟道，该沟道一侧的钙钛矿氧化物材料层为源极，另一侧的钙钛矿氧化物材料层为漏极，在源极、漏极和槽上沉积栅绝缘材料层，并且在位于源极和漏极之上的栅绝缘材料层上分别刻蚀一源电极引线孔和漏电极引线孔，在该源电极引线孔内制备源电极，在漏电极引线孔内制备漏电极，在栅绝缘材料上制备栅电极。由于本发明提供的全氧化物场效应管不仅具有功能特性，而且，由于钙钛矿氧化物材料的禁带宽度比较大，熔点也比较高，因而该全氧化物异质结场效应管也可工作在较高温度等特殊环境条件下。

主权项

1、一种全氧化物异质结场效应管包括：衬底(1)、源极(2)、漏极(3)、栅绝缘材料层(4)、源电极(5)、漏电极(6)和栅电极(7)；其特征在于，所述的衬底(1)、源极(2)和漏极(3)均是用n型或p型钙钛矿氧化物材料制作；其中在所述的n型或p型衬底(1)上相应生长一p型或n型钙钛矿氧化物材料层，并在所述的p型或n型钙钛矿氧化物材料层上刻蚀出一个槽，该槽作为场效应管的沟道，所述的沟道一侧的钙钛矿氧化物材料层为源极(2)，另一侧的钙钛矿氧化物材料层为漏极(3)，在所述源极(2)、漏极(3)和所述的槽上沉积所述的栅绝缘材料(4)，并且在位于源极(2)和漏极(3)之上的栅绝缘材料(4)上分别刻蚀一源电极引线孔和漏电极引线孔，在该源电极引线孔内制备所述的源电极(5)，在漏电极引线孔内制备所述的漏电极(6)，在所述的栅绝缘材料层4上制备所述的栅电极(7)；所述的栅绝缘材料层(4)为非晶的SiO2材料；所述的源电极(5)、漏电极(6)和栅电极(7)为导电金属层。