固体摄像元件、固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种固体摄像元件、固体摄像装置及其制造方法，提供一种减少读出沟道的面积，且受光部(光电二极管)的表面积相对于一像素的面积的比例较大的CCD固体摄像元件。提供一种固体摄像元件，其特征在于，包括：第1导电型半导体层；形成在第1导电型半导体层上的第1导电型柱状半导体层；形成在第1导电型柱状半导体层的上部，且电荷量根据受光的不同而变化的第2导电型光电转换区域；以及与第1导电型柱状半导体的上端隔着规定间隔而形成在第2导电型光电转换区域的表面的第1导电型高浓度杂质区域，在第1导电型柱状半导体层的侧面隔着栅极绝缘膜而形成有传送电极，在传送电极的下方形成有第2导电型CCD沟道区域，在第2导电型光电转换区域与第2导电型CCD沟道区域所夹着的区域形成有读出沟道。

主权项

1.一种固体摄像元件，其特征在于，包括：第1导电型半导体层；形成在上述第1导电型半导体层上的第1导电型柱状半导体层；形成在上述第1导电型柱状半导体层的上部，且电荷量根据受光的不同而变化的第2导电型光电转换区域；与上述第1导电型柱状半导体层的上端隔着规定间隔而形成在上述第2导电型光电转换区域的表面的第1导电型高浓度杂质区域，在上述第1导电型柱状半导体层的侧面隔着栅极绝缘膜而形成有传送电极，在上述传送电极的下方形成有第2导电型CCD沟道区域，在上述第2导电型光电转换区域与上述第2导电型CCD沟道区域所夹着的区域形成有读出沟道。