用于晶圆片研磨垫的整理器

摘要

本创作涉及一种用于晶圆片研磨垫的整理器，包括承座、伸缩机构及旋转机构，承座包含腔室及第一轴孔，伸缩机构包含移动件、至少二支撑柱及座板，移动件及座板分别开设有相互对应的第二轴孔及第三轴孔，旋转机构包含旋转轴及轴接元件，旋转轴依序穿接第一轴孔、第二轴孔及第三轴孔，以使旋转轴跟随移动件作线性移动；藉此，旋转轴再连接整理垫，其旋转面恒保持与研磨垫平行，避免使研磨垫表面的修整不完善，甚至造成研磨垫损伤而导致晶圆刮伤，且整理器与研磨垫间的垂直距离可调整。

主权项

一种用于晶圆片研磨垫的整理器，包括：一承座，包含一腔室及与该腔室相通的一第一轴孔；一伸缩机构，包含容置在该腔室内的一移动件、固定于该移动件的至少二支撑柱及连接于该二支撑柱的一座板，该移动件及该座板分别开设有相互对应的一第二轴孔及一第三轴孔；以及一旋转机构，包含一旋转轴及一轴接元件，该旋转轴依序穿接该第一轴孔、该第二轴孔及该第三轴孔，该轴接元件夹掣在该旋转轴及该移动件之间，以使该旋转轴跟随该移动件作线性移动。