发明名称 Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren mit Doppel- oder Mehrfachspot mittels eines Galvanoscanners
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Laserbearbeitungsvorrichtung zur Laserbearbeitung von Werkstücken, insbesondere von flächigen Solarzellenelementen, umfassend eine Laserstrahlerzeugungs- und Führungseinheit (LF), mit der ein erster und ein zweiter Laserstrahl (L1, L2) erzeugbar sind und mit der die beiden Laserstrahlen (L1, L2) so führbar sind, dass sie sich in einem Punkt im Raum (Kreuzungspunkt P) kreuzen, und einen Galvoscanner (2), der im Strahlengang der beiden Laserstrahlen (L1, L2) so angeordnet ist, dass der Kreuzungspunkt (P) genau zwischen den beiden Ablenkspiegeln des Galvoscanners ausgebildet ist.</p>
申请公布号 DE102008032751(B3) 申请公布日期 2009.12.10
申请号 DE20081032751 申请日期 2008.07.11
申请人 INNOLAS SYSTEMS GMBH 发明人 BECKER, ALEX
分类号 B23K26/067;G02B27/09 主分类号 B23K26/067
代理机构 代理人
主权项
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