摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Laserbearbeitungsvorrichtung zur Laserbearbeitung von Werkstücken, insbesondere von flächigen Solarzellenelementen, umfassend eine Laserstrahlerzeugungs- und Führungseinheit (LF), mit der ein erster und ein zweiter Laserstrahl (L1, L2) erzeugbar sind und mit der die beiden Laserstrahlen (L1, L2) so führbar sind, dass sie sich in einem Punkt im Raum (Kreuzungspunkt P) kreuzen, und einen Galvoscanner (2), der im Strahlengang der beiden Laserstrahlen (L1, L2) so angeordnet ist, dass der Kreuzungspunkt (P) genau zwischen den beiden Ablenkspiegeln des Galvoscanners ausgebildet ist.</p> |