| 发明名称 |
Method for depositing silicon |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2004215243(B2) |
申请公布日期 |
2009.12.03 |
| 申请号 |
AU20040215243 |
申请日期 |
2004.01.20 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM JULICH GMBH |
发明人 |
TOBIAS ROSCHEK;BERND RECH |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/505;H01L21/205;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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