发明名称 |
Al-Ni-B合金布线材料及使用该材料的元件结构 |
摘要 |
本申请的发明提供在具备薄膜晶体管及透明电极层的显示器件中,能够与ITO或IZO等的透明电极层直接接合,同时还能够与n<sup>+</sup>-Si等半导体层直接接合的Al系合金布线材料。本申请的发明的Al合金布线材料中,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.0;0.05≤Y≤11.0;Y+0.25X≥1.0;Y+1.15X≤11.5。 |
申请公布号 |
CN100564560C |
申请公布日期 |
2009.12.02 |
申请号 |
CN200680001532.0 |
申请日期 |
2006.03.30 |
申请人 |
三井金属鉱业株式会社 |
发明人 |
占部宏成;松浦宜範;久保田高史 |
分类号 |
C22C21/00(2006.01)I;H01B1/02(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
C22C21/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
徐 迅 |
主权项 |
1、Al-Ni-B合金布线材料,它是用于显示器件的元件结构的Al-Ni-B合金布线材料,该元件结构具有由铝中含有镍和硼的Al-Ni-B合金布线材料所形成的布线电路层、半导体层和透明电极层,所述布线电路层具有与半导体层直接接合的部分,其特征在于,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.00.05≤Y≤11.00Y+0.25X≥1.00Y+1.15X≤11.50。 |
地址 |
日本东京 |