发明名称 Al-Ni-B合金布线材料及使用该材料的元件结构
摘要 本申请的发明提供在具备薄膜晶体管及透明电极层的显示器件中,能够与ITO或IZO等的透明电极层直接接合,同时还能够与n<sup>+</sup>-Si等半导体层直接接合的Al系合金布线材料。本申请的发明的Al合金布线材料中,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.0;0.05≤Y≤11.0;Y+0.25X≥1.0;Y+1.15X≤11.5。
申请公布号 CN100564560C 申请公布日期 2009.12.02
申请号 CN200680001532.0 申请日期 2006.03.30
申请人 三井金属鉱业株式会社 发明人 占部宏成;松浦宜範;久保田高史
分类号 C22C21/00(2006.01)I;H01B1/02(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 主分类号 C22C21/00(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 徐 迅
主权项 1、Al-Ni-B合金布线材料,它是用于显示器件的元件结构的Al-Ni-B合金布线材料,该元件结构具有由铝中含有镍和硼的Al-Ni-B合金布线材料所形成的布线电路层、半导体层和透明电极层,所述布线电路层具有与半导体层直接接合的部分,其特征在于,将镍含量设为镍的原子百分率Xat%,硼含量设为硼的原子百分率Yat%时,所述含量在满足下述各式的区域的范围内,余分为铝,式0.5≤X≤10.00.05≤Y≤11.00Y+0.25X≥1.00Y+1.15X≤11.50。
地址 日本东京