发明名称 METHOD FOR EPITAXIAL GROWTH OF SILICON CARBIDE
摘要
申请公布号 EP1931818(A4) 申请公布日期 2009.12.02
申请号 EP20060824982 申请日期 2006.09.16
申请人 MISSISSIPPI STATE UNIVERSITY;KOSHKA, YAROSLAV 发明人 KOSHKA, YAROSLAV
分类号 C30B28/14;C01B31/36;C23C16/32 主分类号 C30B28/14
代理机构 代理人
主权项
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