超纯空气过滤净化系统及空气过滤方法、空气净化的方法

摘要

本发明涉及一种超纯空气过滤净化系统及空气过滤方法、空气净化的方法。所述空气过滤系统包括第一通风路径、第二通风路径与第三通风路径。第一通风路径连接于至少一外部气体供应器与一洁净室之间。第一通风路径用以将来自于至少一外部气体供应器的空气导向至洁净室。第二通风路径连接于洁净室，并且第二通风路径用以对于洁净室中的空气进行再循环。第三通风路径分离于第一通风路径且连接于至少一外部气体供应器与一设备环境之间，设备环境设置于洁净室之中。第三通风路径包括一超纯空气过滤单元，超纯空气过滤单元设置于外部气体供应器与设备环境之间，超纯空气过滤单元包括一压缩机/干燥机。由此可以改良洁净室和设备环境之中的过滤空气质量。

主权项

1.一种超纯空气过滤净化系统，包括：一第一通风路径，连接于至少一外部气体供应器与一洁净室之间，该第一通风路径用以将来自于所述至少一外部气体供应器的空气导向至该洁净室；一第二通风路径，连接于该洁净室，该第二通风路径用以对于该洁净室中的该空气进行再循环；以及一第三通风路径，分离于该第一通风路径且连接于所述至少一外部气体供应器与一设备环境之间，该设备环境设置于该洁净室之中，该第三通风路径包括一超纯空气过滤单元，该超纯空气过滤单元设置于该外部气体供应器与该设备环境之间，该超纯空气过滤单元包括一压缩机/干燥机，该压缩机/干燥机对于空气进行压缩与干燥而达到降低大气污染物。