发明名称 |
浆料图案形成方法和用于该方法中的转印薄膜 |
摘要 |
本发明公开了一种浆料图案形成方法,所述方法包括以下步骤:在薄膜基体材料(302)上形成转印图案材料(304)以制备转印薄膜;将转印薄膜粘附到在其上形成转印图案的基底(308)上,以使转印图案材料接触所述基底;将薄膜基体材料(302)与所述转印图案材料分离;在转印图案凹陷内填入浆料(310);将所述浆料固化;并且移除转印图案材料(304)。 |
申请公布号 |
CN101573775A |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200780042812.0 |
申请日期 |
2007.11.19 |
申请人 |
E.I.内穆尔杜邦公司 |
发明人 |
秋元英树 |
分类号 |
H01J9/02(2006.01)I;H01J9/24(2006.01)I;H01J17/49(2006.01)I;G02F1/00(2006.01)I;H01L31/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
朱黎明 |
主权项 |
1.一种浆料图案形成方法,所述方法包括以下步骤:在薄膜基体材料上施加转印图案,从而形成转印薄膜,其中所述转印图案包括转印图案材料和转印图案凹陷;将所述转印薄膜转印到基底上,以使所述转印图案材料接触所述基底;将所述薄膜基体材料与所述转印图案材料分离;将浆料施加到所述转印图案凹陷内,从而形成浆料图案;固化所述浆料;以及移除所述转印图案材料。 |
地址 |
美国特拉华州 |