具有缓冲装置之水流入料式太阳能晶圆排片机

摘要

本创作系一种具有缓冲装置之水流入料式太阳能晶圆排片机，该排片机包含：一组具有一个容置槽之机台、一组水流入料装置、一个升降基座、及一组缓冲装置。藉由该排片机的缓冲装置，避免沿水流顺向入料至片匣的太阳能晶圆碰撞片匣底壁，藉以维护太阳能晶圆的完好，不仅降低不必要的破损而提升产品良率性，亦减少破片刮伤其他晶圆及排除破片所增添之时间损耗，使排片流程更为顺畅。

主权项

一种具有缓冲装置之水流入料式太阳能晶圆排片机，系供将复数太阳能晶圆输送进入一个片匣，其中该片匣具有两个侧壁、一个底壁、于两侧壁间形成有一个宽度对应于该等太阳能晶圆之正面开口、于该底壁形成有一个宽度小于该等太阳能晶圆之背面开口、并在形成该正面开口之两侧面上形成有复数承载缘，藉此形成有复数分别供容置上述太阳能晶圆之一的承载埠，该排片机包含：一组具有一个容置槽之机台；一组设置于该机台并具有一个出料口之水流入料装置；一个设置于该机台、位于该容置槽中、可供以该正面开口倾斜面向该水流入料装置地置放该片匣、并可相对该机台升降而使得该等承载埠之一对应该出料口的升降基座；及一组设置于该机台，并被设置成对应该升降基座、使得当该片匣被置放于该升降基座时伸入该片匣背面开口中，使得该等太阳能晶圆之一被该水流入料装置输出至该等承载埠之一时，该被输出太阳能晶圆恰无法触及该片匣底壁之缓冲装置。