发明名称 CERIUM OXIDE POWDER, METHOD FOR PREPARING THE SAME, AND CMP SLURRY COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100918767(B1) 申请公布日期 2009.09.24
申请号 KR20070076070 申请日期 2007.07.27
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;C01F17/00 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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