| 发明名称 | 研磨垫 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在研磨对象物的表面难以发生划伤，且平坦化特性优越的研磨垫。本发明的研磨垫具有由具有微细气泡的聚氨酯树脂发泡体构成的研磨层，所述聚氨酯树脂发泡体的拉伸断裂伸长是25～120％。 | ||
| 申请公布号 | CN101530988A | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200910135488.8 | 申请日期 | 2006.05.10 |
| 申请人 | 东洋橡胶工业株式会社 | 发明人 | 数野淳;小川一幸;中森雅彦;山田孝敏;下村哲生 |
| 分类号 | B24D3/00(2006.01)I;B24D13/14(2006.01)I;B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;C08G18/10(2006.01)I;C08G101/00(2006.01)N | 主分类号 | B24D3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1. 一种研磨垫，其具有由具有微细气泡的聚氨酯树脂发泡体构成的研磨层，其特征在于，作为所述聚氨酯树脂发泡体的原料成分的高分子量多元醇成分是数均分子量为500～850的疏水性高分子量多元醇，且所述聚氨酯树脂发泡体含有不具有羟基的硅系非离子表面活性剂10～20重量％。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||