| 发明名称 | 致动器 | ||
| 摘要 | 本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题，由此，提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101513990A | 申请公布日期 | 2009.08.26 |
| 申请号 | CN200910004248.4 | 申请日期 | 2009.02.18 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 川久保隆;长野利彦;西垣亨彦 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I;H03H9/13(2006.01)I;H03H9/15(2006.01)I;H03H9/54(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 陈海红;周春燕 |
| 主权项 | 1.一种致动器，其特征在于，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||