发明名称 |
1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅 |
摘要 |
一种用于1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期小于200纳米、槽深为230纳米-410纳米,光栅的占宽比为0.3。该偏振分束光栅只存在0级衍射,消光比大于20dB,TE偏振光的反射衍射率和TM偏振光的透射衍射率均高于96%。特别是光栅周期为150纳米、槽深为323纳米时,光栅透射衍射消光比与反射衍射消光比分别达到67dB和23dB,TE偏振光的反射衍射率和TM偏振光的透射衍射率分别达到96.47%和97.04%。本发明的亚波长金属偏振分束光栅由纳米压印、反应离子辅助刻蚀及物理溅射工艺加工而成,可大批量、低成本生产,制作的光栅偏振分束特性好,性能稳定可靠。 |
申请公布号 |
CN101515045A |
申请公布日期 |
2009.08.26 |
申请号 |
CN200910103542.0 |
申请日期 |
2009.04.02 |
申请人 |
重庆文理学院 |
发明人 |
赵华君;袁代蓉 |
分类号 |
G02B5/18(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I |
主分类号 |
G02B5/18(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1、一种用于1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期小于200纳米,槽深为230纳米-410纳米,占宽比为0.3。 |
地址 |
402160重庆市永川区经济技术开发区学府大道 |