发明名称 制备结构化隔离衬片的方法
摘要 本文公开了制备结构化隔离衬片的方法。所述方法包括提供基部;提供起垄性材料;将所述起垄性材料涂覆到所述基部上;使用具有轮廓的涂覆棒使所述起垄性材料形成至少一个脊;以及硬化所述起垄性材料。将所述起垄性材料涂覆到所述基部和使用涂覆棒使所述起垄性材料形成所述至少一个脊可以同时进行。
申请公布号 CN101511592A 申请公布日期 2009.08.19
申请号 CN200780032801.4 申请日期 2007.08.20
申请人 3M创新有限公司 发明人 弗兰克·T·谢尔;戴维·J·亚鲁索;迈克尔·R·凯斯蒂
分类号 B32B37/02(2006.01)I;B32B33/00(2006.01)I 主分类号 B32B37/02(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 丁业平;戚秋鹏
主权项 1. 一种制备结构化隔离衬片的方法,所述方法包括:提供基部;提供起垄性材料;将所述起垄性材料涂覆到所述基部上;使用具有轮廓的涂覆棒使所述起垄性材料形成至少一个脊;以及硬化所述起垄性材料。
地址 美国明尼苏达州