发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING OF VERTICAL TRENCH MOSFET AND ITS STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR100910469(B1) 申请公布日期 2009.08.04
申请号 KR20070088367 申请日期 2007.08.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/335;H01L29/78 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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