腔室气体供给装置及采用它的腔室内压控制方法

摘要

本发明防止流量的控制精度在小流量域显著降低，在整个流量控制域进行高精度流量控制，同时通过高精度流量控制可以控制宽广的腔室压力范围。具体地说，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，向由真空泵排气的腔室流量控制地供给期望的气体的腔室气体供给装置中，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置。

主权项

1. 一种腔室气体供给装置，其特征在于，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，对期望的气体进行流量控制并供给由真空泵排气的腔室，其中，上述压力式流量控制装置是由锐孔、锐孔上游侧的压力检出器、压力检出器的上游侧设置的控制阀及运算控制部形成，且在锐孔上游侧压力P1和下游侧压力P2的比P1/P2保持约2倍以上的状态下使用的压力式流量控制装置，其中，上述运算控制部从压力检出器的检出压力P1根据QC＝KP1运算通过锐孔的气体流量QC，其中，K是常数，同时将与设定流量Qs的差Qy作为驱动用信号输出到控制阀，同时，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置，在整个宽流量域进行高精度流量控制，根据控制装置的信号变换部发出的控制信号，从控制流量域小的压力式流量控制装置开始按顺序使多台压力式流量控制装置动作，在控制装置设置向分担各流量域的压力式流量控制装置发出的控制信号的上升率设定机构，从上述控制信号的发出开始经过规定的时间后，该压力式流量控制装置供给设定流量的气体流量。