微小装置及其制造方法

摘要

一种微小装置，具有用于形成腔体并环绕该腔体的框架，该框架具有第一开口和正对着该第一开口的第二开口，设于该腔体中的可动部分，用于支撑该腔体中可动部分的支撑部分，用于结合该框架和密封该框架的第一开口的第一密封元件，及用于与该框架结合及密封该框架的第二开口的第二密封元件。该框架包括相对于框架用于对准第一密封元件和第二密封元件其中至少一个的对准结构。