二维束密度量测的方法及其装置

摘要

一种束密度量测系统(140)，其包括遮罩(150)、束感测器(142，242)以及致动器(156)。束感测器在束(104，204)的行进方向上位于遮罩下游。束感测器经组态以感测该束的强度，且束感测器具有长维度以及短维度。致动器相对于束感测器而转译遮罩，其中随着相对于束感测器而转译遮罩，遮罩阻断来自束感测器的束的至少一部分，且其中与遮罩相对于束感测器的位置的改变相关联的强度的测得值表示该束在束感测器的长维度所界定的第一方向上的束密度分布。

主权项

1. 一种束密度量测系统，其特征在于其包含：遮罩；束感测器，其在束的行进方向上位于所述遮罩下游，所述束感测器经组态以感测所述束的强度，且所述束感测器具有长维度以及短维度；以及致动器，其相对于所述束感测器而转译所述遮罩，其中随着相对于所述束感测器而转译所述遮罩，所述遮罩阻断来自所述束感测器的所述束的至少一部分，且其中与所述遮罩相对于所述束感测器的位置的改变相关联的所述强度的测得值表示所述束在所述束感测器的所述长维度所界定的第一方向上的束密度分布。