| 摘要 |
本发明提供用于量测半导体制程反应室中之温度的系统。实施例提供一种多接面热电偶(110)，此多接面热电偶(110)包括第一接面(112)和第二接面(114)，第一接面(112)和第二接面(114)被定位成量测基板(16)的实质上相同部份的温度。控制器(120)可侦测第一接面(112)、第二接面(114)、自第一接面(112)延伸的第一导线对(113)或自第二接面(114)延伸之第二导线对(115)之故障。此控制器(120)理想地响应于所侦测的第一接面(112)或第一导线对(113)的故障来选择第二接面(114)和第二导线对(115)。相反地，控制器(120)理想地响应于所侦测的第二接面(114)或第二导线对(115)的故障来选择第一接面(112)和第一导线对(113)。本文所教示的系统可允许准确且实质上不间断地进行温度量测，即使在热电偶中的接面或导线对出现故障的情况下。 |
