发明名称 |
半导体器件及制造该半导体器件的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体器件(10),包括具有双极性晶体管的半导体主体(12),所述双极性晶体管包括分别为第一导电型、与第一导电型相反的第二导电型以及第一导电型的发射极区域、基极区域和集电极区域(1,2,3)。发射极或集电极区域(1,3)之一包括纳米线(30)。基极区域(2)通过层(20)形成在半导体主体(12)的表面;发射极或集电极区域(1,3)中的另一个(3,1)形成在基极区域(2)之下的半导体主体(12)中。包括纳米线(30)的发射极或集电极区域(1,3)设置在半导体主体(12)的表面上,使得其纵轴垂直于半导体主体的表面而延伸。 |
申请公布号 |
CN100505298C |
申请公布日期 |
2009.06.24 |
申请号 |
CN200580024381.6 |
申请日期 |
2005.07.07 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
雷德弗里德斯·A·M·胡尔克斯;普拉巴特·阿加瓦尔;亚伯拉翰·R·巴尔克能德;彼得鲁斯·H·C·马格涅;梅拉妮·M·H·瓦格曼斯;埃里克·P·A·M·巴克斯;埃尔温·海曾 |
分类号 |
H01L29/08(2006.01)I;H01L29/737(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/08(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
1. 一种半导体器件(10),包括具有双极性晶体管的半导体主体(12),所述双极性晶体管包括分别为第一导电型、与第一导电型相反的第二导电型以及第一导电型的发射极区域、基极区域和集电极区域(1,2,3),其特征在于,发射极或集电极区域(1,3)之一(1,3)包括纳米线(30),基极区域(2)以层状区域(20)形成在半导体主体(12)的表面,发射极或集电极区域(1,3)中的另一个(3,1)形成在基极区域(2)之下的半导体主体(12)中,并且包括纳米线(30)的发射极或集电极区域(1,3)设置在层状区域(20)的表面上,从而纳米线(30)的纵轴垂直于与半导体主体的表面而延伸。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |