光谱椭偏仪

摘要

本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置，其在一个应用中可用来检测半导体器件。本发明揭示了一种在椭偏仪中用于获取待测器件信息的方法，其中包括以下步骤：使用多个起偏器提供多个入射偏振光束，其中每一个光束在一个设定好的偏振角下被起偏；使用一个抛物面反射器将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上某一点；使用一个抛物面反射器收集从该待测器件上反射的多个光束；使用多个检偏器检偏该收集到的光束，其中每一个检偏器具有设定好的与相应起偏器相对应的偏振角。

主权项

1. 一种在椭偏仪中用于获取待测器件信息的方法，其中，包括以下步骤：提供多个入射偏振光束；将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上的一个点；收集从该待测器件上反射的多个光束；检偏所收集到的所述多个光束。