矩形样品磁控溅射仪运动控制装置及其控制方法

摘要

本发明涉及一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置及其控制方法，该装置具有工业控制计算机、运动执行机构及运动控制卡，运动控制卡接收运动执行机构的反馈信号，并向运动执行机构发送控制信号，运动控制卡与工业控制计算机进行通讯连接；工业控制计算机存有控制程序。该方法包括以下步骤：初始化操作；进入等待及状态显示界面，同时报警检测；用户手动设置系统状态参数；控制代码的设定，将用户设置的代码转换成运动控制卡能够识别的运动函数；控制程序是否按控制代码自动运行以及运行结束后样品状态设定；选择是，则开线程运行系统并实时显示；程序结束运行。本发明提高了样品成膜的均匀性，操作简单、易实现，且安装和携带方便。

主权项

1. 一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置，具有工业控制计算机及运动执行机构，其特征在于：在工业控制计算机及运动执行机构之间设有运动控制卡，其接收运动执行机构的反馈信号，并向运动执行机构发送控制信号，运动控制卡通过USB接口与工业控制计算机进行通讯连接，运动控制卡中存有运动控制的基本函数；工业控制计算机存有控制程序。