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发明名称 Process for producing an image using a first minimum bottom antireflective coating composition
摘要
申请公布号 EP1845415(A3) 申请公布日期 2009.05.27
申请号 EP20070009942 申请日期 2003.01.03
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 NEISSER, MARK O.;OBERLANDER, JOSEPH E.;TOUKHY, MEDHAT A.;SAKAMURI, RAJ;DING-LEE, SHUJI
分类号 G03F7/09;G03F7/11;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/32;H01L21/027 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
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