| 发明名称 | 研磨液之供应方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨液之供应方法，以周期性地中断研磨液之供应来供应研磨液。因此避免研磨液使用过度造成溢流浪费，并可减少研磨液之使用而降低生产成本。 | ||
| 申请公布号 | TW200920550 | 申请公布日期 | 2009.05.16 |
| 申请号 | TW096141671 | 申请日期 | 2007.11.05 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 游淇闵;庄启智;施惠绅 |
| 分类号 | B24B55/02(2006.01);B24B53/12(2006.01) | 主分类号 | B24B55/02(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 | ||