| 发明名称 | 加热器保护环 | ||
| 摘要 | 一种加热器保护环，属于微电子设备领域，具体应用于原子层沉积设备的加热器上，其主要特征在于，保护环呈圆环状，保护环的圆环内径不小于所述加热器上的晶圆的直径，保护环的圆环外径不小于所述加热器的外径。能防止所需原子层沉积的薄膜沉积于加热器上，从而提高原子层沉积设备的预防性保养的效率。并具有可重复利用的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN201236207Y | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200820151638.5 | 申请日期 | 2008.08.05 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 郑洋超;李永俊 |
| 分类号 | C23C16/04(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
| 主权项 | 1. 一种加热器保护环，其特征在于所述保护环呈圆环状，保护环的圆环内径不小于所述加热器上的晶圆的直径，保护环的圆环外径不小于所述加热器的外径。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||