发明名称 SLURRY FOR RUTHENIUM POLISHING AND METHOD FOR POLISHING USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090047815(A) 申请公布日期 2009.05.13
申请号 KR20070113859 申请日期 2007.11.08
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC.;IUCF-HYU (INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY) 发明人 PARK, HYUNG SOON;KIM, JIN WOONG;KWAK, NOH JUNG;CHOI, YONG SOO;SHIN, JONG HAN;RUY, CHEOL HWI;PARK, JUM YONG;KIM, SUNG JUN;PARK, JIN GOO;KIM, IN KWON;KWON, TAE YOUNG
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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