| 发明名称 | 排气环及等离子体加工装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种排气环及等离子体加工装置，排气环上有多个通孔，通孔在纵向上至少有一段倾斜于本体的平面，可以为斜孔、迷宫孔、曲线孔或折线孔等。通孔的横截面可以为圆形、椭圆形、长圆形、三角形或梯形等。等离子体加工装置的反应腔室和抽气腔室之间装上这种排气环后，抽气时，通孔对等离子体有一定的阻挡作用，对等离子体的屏蔽效果好。 | ||
| 申请公布号 | CN101431003A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200710177038.6 | 申请日期 | 2007.11.08 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 赵梦欣 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H05H1/00(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵镇勇 |
| 主权项 | 1、一种排气环，包括本体，所述本体上设有多个通孔，其特征在于，所述的通孔在纵向上至少有一段倾斜于所述本体的平面。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||