发明名称 LASER ANNEAL METHOD
摘要
申请公布号 KR20090045057(A) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 KR20080106639 申请日期 2008.10.29
申请人 FUJIFILM CORPORATION 发明人 KURAMACHI TERUHIKO;TANAKA ATSUSHI
分类号 H01L21/324;H01L21/20 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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