发明名称 氮化物半导体发光器件及其制造方法
摘要 本发明提供一种制造氮化物半导体发光器件的方法,所述方法包括:提供具有GaN层的氮化物半导体发光器件,使氮化物半导体发光器件与氢分离金属接触,使氮化物半导体发光器件和氢分离金属振动,从氮化物半导体发光器件的GaN层除去氢并且从氮化物半导体发光器件分离氢分离金属。
申请公布号 CN100485981C 申请公布日期 2009.05.06
申请号 CN200580026864.X 申请日期 2005.07.08
申请人 LG伊诺特有限公司 发明人 尹浩相
分类号 H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 顾晋伟;刘继富
主权项 1. 一种制造氮化物半导体发光器件的方法,所述方法包括:提供具有GaN层的氮化物半导体发光器件;使所述氮化物半导体发光器件与氢分离金属接触;使氮化物半导体发光器件和氢分离金属振动;和从氮化物半导体发光器件的GaN层除去氢并且从氮化物半导体发光器件分离氢分离金属;其中加工温度为400℃或更低。
地址 韩国首尔