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发明名称 Chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren zur Herstellung von dielektrischem Material
摘要
申请公布号 DE60038267(T2) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 DE20006038267T 申请日期 2000.07.25
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 WANG, YAXIN;CHAN, DIANA;SAHIN, TURGUT;ISHIKAWA, TETSUYA;MOGHADAM, FARHAD
分类号 C23C16/30;H01L21/316;C23C16/40;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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