摘要 |
Es wird eine optische Sonde (1) zum optischen Prüfen von Oberflächen (5) vorgeschlagen, wobei diese umfasst: einen Eingang (10) zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde (1), einen Ausgang (20) zur Beleuchtung der zu prüfenden Oberflächen (5), optische Elemente (8) zur Überführung des Eingangsstrahls in einen Messtrahl, der in einem Austrittswinkel alpha, bezogen auf die Richtung (7) des Eingangsstrahls, aus der Sonde (1) austritt, wobei ein Mittel (15) zur variablen Steuerung des Austrittswinkels alpha vorgesehen ist. Weiter wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Oberflächen (5) beschrieben, wobei in der Vorrichtung ein Interferometer mit der optischen Sonde (1) verbunden ist.
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