发明名称 Sonde und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen
摘要 Es wird eine optische Sonde (1) zum optischen Prüfen von Oberflächen (5) vorgeschlagen, wobei diese umfasst: einen Eingang (10) zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde (1), einen Ausgang (20) zur Beleuchtung der zu prüfenden Oberflächen (5), optische Elemente (8) zur Überführung des Eingangsstrahls in einen Messtrahl, der in einem Austrittswinkel alpha, bezogen auf die Richtung (7) des Eingangsstrahls, aus der Sonde (1) austritt, wobei ein Mittel (15) zur variablen Steuerung des Austrittswinkels alpha vorgesehen ist. Weiter wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Oberflächen (5) beschrieben, wobei in der Vorrichtung ein Interferometer mit der optischen Sonde (1) verbunden ist.
申请公布号 DE102007045567(A1) 申请公布日期 2009.04.02
申请号 DE200710045567 申请日期 2007.09.24
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 KOCHENDOERFER, RALF;DRABAREK, PAWEL;RYCHTARIK, DAVID
分类号 G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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