多功能抽空真空设备

摘要

本发明涉及一种抽真空的设备，尤其涉及一种多功能抽真空设备。本发明要解决的技术问题是提供一种可以根据需要随时启停且随机根据各工件的抽真空度要求调节压力的多功能抽真空设备。其技术方案：该设备包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与真空阀连接；真空泵先与工作腔室连通，工作腔室上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与真空阀连通；气体压力表也通过连通管与真空阀连通；前述各零部件位于支撑件上；可编程控制器通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀。本发明能根据需要随时启停；也随机根据各工件的抽真空度要求调节压力；某个工作腔室压力变化对其它工作腔室内的压力没有影响。

主权项

1、一种多功能抽真空设备，包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与所述真空阀连接；其特征在于：所述真空泵先与工作腔室(1)连通，所述工作腔室(1)上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与所述真空阀连通；气体压力表(64)也通过连通管与所述真空阀连通；前述各零部件位于支撑件(4)上；可编程控制器(PLC)通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀。