发明名称 一种InP-InAsP纳米线LED及其制备方法
摘要 一种InP-InAsP纳米线LED及其制备方法,属于发光二极管技术领域。包括衬底,衬底的一面自下而上依次沉积设置p-InP纳米线层、InAs<sub>x</sub>P<sub>1-x</sub>纳米线阵列和n-InP纳米线层,衬底的另一面沉积设置第一电极,n-InP纳米线层上沉积设置第二电极,InAs<sub>x</sub>P<sub>1-x</sub>纳米线阵列为LED的有源层,其中x值的范围为0~0.6。本发明以InAsP纳米线阵列作为有源层,可获得较高发光效率;根据不同场合或不同客户的需要,通过对InAsP纳米线阵列的尺寸等进行控制调节,可得到不同波段的出射光,可制备出发红光、红外光和中红外光等多种颜色的发光器件。
申请公布号 CN101399306A 申请公布日期 2009.04.01
申请号 CN200810122000.3 申请日期 2008.11.06
申请人 中国计量学院 发明人 沈常宇;金尚忠;彭德光;林科;周盛华;古元华
分类号 H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 杭州浙科专利事务所 代理人 吴秉中
主权项 1. 一种InP-InAsP纳米线LED及其制备方法,其特征在于包括衬底(2),衬底(2)的一面自下而上依次沉积设置p-InP纳米线层(3)、InAsxP1-x纳米线阵列(4)和n-InP纳米线层(5),衬底(2)的另一面沉积设置第一电极(1),n-InP纳米线层(5)上沉积设置第二电极(6),InAsxP1-x纳米线阵列(4)为LED的有源层,其中x值的范围为0~0.6。
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